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制氮机
多晶硅专用制氮机
    半导体硅行业对于生产工艺有着极为严格的要求,长期以来由于PSA空分设备的技术局限性,生产的氮气不能完全满足其需要,因此在工业上一直使用昂贵的液氮作为保护氛围。对此,Weiton公司经过近两年的研发,在一般通用制氮机的基础上,根据半导体硅行业对氮气的特殊要求,成功研制出了专用的配套制氮机。此制氮机所生产的氮气纯度高、露点低,无有害杂质,完全可以满足半导体硅行业对氮气的高要求。而且,装置操作方便,维护简单,消耗品少,是用户毋庸质疑的最佳选择。

    Weiton公司生产的全球首例半导体硅行业专用制氮机,已不间断、无故障运行近两年,这对整个PSA制氮行业来说,是一次突破性的进展。目前,Weiton公司是唯一在半导体硅行业中拥有完善技术和应用实例的PSA制氮厂家。
 
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